Het contactgat is de opening van de isolatie tussen de metaallaag en het actieve gebied of polysilicium. Het is een sleutelstructuur in de micro-elektronica, meestal verticaal geëtst in de siliciumwafel, gebruikt om de eerste metalen verbindings- en substraatinrichting te verbinden, en gevuld met metalen zoals wolfraam. Het wordt vaak gebruikt bij de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen om elektrische verbindingen tussen verschillende lagen van het circuit te realiseren.
Omdat de kwaliteit van het contactgat rechtstreeks van invloed is op de prestaties en betrouwbaarheid van het hele circuit, moet het contactgat worden ontworpen en vervaardigd met veel factoren in gedachten, zoals elektrische prestaties, thermische stabiliteit, mechanische sterkte en produceerbaarheid. Om goede elektrische verbindingen en een lagere weerstand te garanderen, worden contactgaten meestal gevuld met metaal of andere geleidende materialen. Tegelijkertijd wordt, om mechanische schade en chemische corrosie te voorkomen, de omtrek van het contactgat meestal bedekt met een beschermende laag.
